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全自动单晶制绒清洗机多晶制绒硅片清洗机全自动去磷硅玻璃清洗机硅片槽式清洗设备湿法刻蚀硅片清洗机

2020-03-16 供应信息

价格： ¥面议在线咨询行家

供应总量：

10 套

产地：

中国

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企业档案 第5年

江苏英思特半导体科技有限公司

供应信息： 2 条
所在地区：江苏南通市
认证信息：实名认证

商品信息

基本参数

名称湿法刻蚀硅片清洗机
品牌 INSIST
产地中国

详细说明

设备名称：链式湿法刻蚀设备

设备型号：DRX-4800B / DRX-8000B

设备用途：对单、多晶硅片进行刻蚀、清洗、干燥。

工艺流程：正面保护→刻蚀→碱洗→酸洗→烘干

技术特点

· 高产能：4500PCS/5道，8000PCS/10道。

· 自动化程度高

· 高均匀性，超长药液寿命。

· 支持多种添加剂或混合添加剂技术。

· 支持最薄120μm硅片。

· 快速换液，在线换液。

· 支持MES,选配在线称重检测。

· 兼容酸抛光功能。

· 免加硫酸

· 无刻蚀线

· PID-Free（O3模块，可选）

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